新型電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
時間:2017-05-31 15:37:16作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博人人網微信
多晶硅材料是以工業(yè)硅為原料經一系列物理化學反應提純后達到一定純度的電子材料,其具有高純度的特點,在整個生產過程中,對產品質量的控制要求很高。在競爭激烈市場價格越來越低的態(tài)勢下,更好的壓縮成本,也是多晶硅生產廠家關注的重點。
多晶硅生產多采用改良西門子法,也是用來生產半導體級多晶硅的主要工藝方法。還原爐是改良西門子法的核心設備,多晶硅的硅棒就是在其中“生長”出來的,因此還原爐的沉積環(huán)境的潔凈度特別關鍵。
在多晶硅的生產設備中,還原爐運行好壞直接影響多晶硅質量和生產成本,一般為降低耗電和成本,采取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鐘罩等方法。一套好的鐘罩清洗裝置在多晶硅生產中是非常必要的,因為鐘罩清洗的光潔度和清潔度如果不夠,會導致硅芯擊不穿或產品質量污染。
目前多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)始于2009年,德高潔清潔設備有限公司是國內第一家研發(fā)設計制造并獲得實用新型專利的。目前其設備應用也是覆蓋了國內90%的多晶硅企業(yè),為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。
經過多年來客戶的實際應用和需求,通過總結借鑒國內外鐘罩及其它罐類清洗烘干經驗,對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識。德高潔充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術優(yōu)勢,研發(fā)半導體級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng),實現(xiàn)了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。
1、設備性能可靠
德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。
2、自動化程度高
自動化程度高,用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干,清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定,同時具有半自動或手動功能。
一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程,可實現(xiàn)遠程對樓下設備的控制和主要參數監(jiān)控。
3、安全環(huán)保
全密閉式清洗烘干系統(tǒng),使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放,基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
德高潔多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)按防爆要求設計,加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作,缺水保護,壓力水超壓保護、漏電保護,水風工作互鎖等)。
4、適應范圍廣
可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干,現(xiàn)在已經使用的有四種。
升級后的多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)可根據不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件,提供個性化設計,節(jié)省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對提高多晶硅品質產生重要意義。
多晶硅生產多采用改良西門子法,也是用來生產半導體級多晶硅的主要工藝方法。還原爐是改良西門子法的核心設備,多晶硅的硅棒就是在其中“生長”出來的,因此還原爐的沉積環(huán)境的潔凈度特別關鍵。
在多晶硅的生產設備中,還原爐運行好壞直接影響多晶硅質量和生產成本,一般為降低耗電和成本,采取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鐘罩等方法。一套好的鐘罩清洗裝置在多晶硅生產中是非常必要的,因為鐘罩清洗的光潔度和清潔度如果不夠,會導致硅芯擊不穿或產品質量污染。
目前多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)始于2009年,德高潔清潔設備有限公司是國內第一家研發(fā)設計制造并獲得實用新型專利的。目前其設備應用也是覆蓋了國內90%的多晶硅企業(yè),為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。
經過多年來客戶的實際應用和需求,通過總結借鑒國內外鐘罩及其它罐類清洗烘干經驗,對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識。德高潔充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術優(yōu)勢,研發(fā)半導體級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng),實現(xiàn)了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。
1、設備性能可靠
德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。
2、自動化程度高
自動化程度高,用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干,清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定,同時具有半自動或手動功能。
一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程,可實現(xiàn)遠程對樓下設備的控制和主要參數監(jiān)控。
3、安全環(huán)保
全密閉式清洗烘干系統(tǒng),使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放,基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
德高潔多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)按防爆要求設計,加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作,缺水保護,壓力水超壓保護、漏電保護,水風工作互鎖等)。
4、適應范圍廣
可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干,現(xiàn)在已經使用的有四種。
升級后的多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)可根據不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件,提供個性化設計,節(jié)省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對提高多晶硅品質產生重要意義。
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