電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
時間:2017-12-05 17:24:52作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信
能源和環(huán)境問題日益成為各方關注的焦點,為了實現(xiàn)能源和環(huán)境的可持續(xù)發(fā)展,世界各國都將太陽能發(fā)電行業(yè)作為發(fā)展的重。多晶硅還是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)最基礎的原材料,還原工藝是多晶硅生產(chǎn)的關鍵工藝和成品工藝,其工藝條件和參數(shù)控制好壞直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。電子級多晶硅生產(chǎn)工藝要求很高,要在“無油、無水、無塵”的環(huán)境下運行。
目前多晶硅生產(chǎn)多數(shù)采用改良西門子法,用來生產(chǎn)半導體行業(yè)電子級多晶硅;還原爐和氫化爐是改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的核心設備,其運行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量及生產(chǎn)成本。鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠,常常導致硅芯擊不穿或產(chǎn)品質(zhì)量污染,所以鐘罩清洗設備對多晶硅生產(chǎn)非常重要。
經(jīng)過多年來客戶的實際應用和需求,通過總結(jié)借鑒國內(nèi)外經(jīng)驗,德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術優(yōu)勢,研發(fā)電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。
德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機構(gòu)、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統(tǒng)、循環(huán)過濾系統(tǒng)、控制裝置、微負壓系統(tǒng)、清洗工作臺、電氣控制系統(tǒng)等,系統(tǒng)實現(xiàn)了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。
電子級多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統(tǒng)特點:
1、多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)以3D形式的網(wǎng)狀噴射來完成爐筒內(nèi)部表面的水力掃射,加之萬級凈化干燥系統(tǒng),完全滿足電子級多晶硅生產(chǎn)的需求。
2、自動化程度高,清洗時只需一鍵操作即可,操作簡單方便。自動控制系統(tǒng)能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干,清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設定,同時具有半自動或手動功能。
3、在整個還原爐的清洗過程中,清洗、干燥中筒內(nèi)形成微負壓狀態(tài),防止清洗外溢,同時將底座與筒體下法蘭處的污染物等一并吹掃,通過排污管排出,從而保證了整個過程不會對潔凈區(qū)造成污染。全密閉式清洗烘干系統(tǒng),使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放,基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
4、德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)的適應范圍廣,一套系統(tǒng)可以實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干。
多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,德高潔多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)覆蓋了國內(nèi)90%的多晶硅企業(yè),為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。這套電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)經(jīng)過反復摸索求證,可根據(jù)不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件,提供個性化設計,節(jié)省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對提高多晶硅品質(zhì)產(chǎn)生重要意義,取得了一定的經(jīng)濟效益和社會效益。
目前多晶硅生產(chǎn)多數(shù)采用改良西門子法,用來生產(chǎn)半導體行業(yè)電子級多晶硅;還原爐和氫化爐是改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的核心設備,其運行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量及生產(chǎn)成本。鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠,常常導致硅芯擊不穿或產(chǎn)品質(zhì)量污染,所以鐘罩清洗設備對多晶硅生產(chǎn)非常重要。
經(jīng)過多年來客戶的實際應用和需求,通過總結(jié)借鑒國內(nèi)外經(jīng)驗,德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術優(yōu)勢,研發(fā)電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。
德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機構(gòu)、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統(tǒng)、循環(huán)過濾系統(tǒng)、控制裝置、微負壓系統(tǒng)、清洗工作臺、電氣控制系統(tǒng)等,系統(tǒng)實現(xiàn)了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。
電子級多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統(tǒng)特點:
1、多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)以3D形式的網(wǎng)狀噴射來完成爐筒內(nèi)部表面的水力掃射,加之萬級凈化干燥系統(tǒng),完全滿足電子級多晶硅生產(chǎn)的需求。
2、自動化程度高,清洗時只需一鍵操作即可,操作簡單方便。自動控制系統(tǒng)能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干,清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設定,同時具有半自動或手動功能。
3、在整個還原爐的清洗過程中,清洗、干燥中筒內(nèi)形成微負壓狀態(tài),防止清洗外溢,同時將底座與筒體下法蘭處的污染物等一并吹掃,通過排污管排出,從而保證了整個過程不會對潔凈區(qū)造成污染。全密閉式清洗烘干系統(tǒng),使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放,基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
4、德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)的適應范圍廣,一套系統(tǒng)可以實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干。
多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,德高潔多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)覆蓋了國內(nèi)90%的多晶硅企業(yè),為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。這套電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)經(jīng)過反復摸索求證,可根據(jù)不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件,提供個性化設計,節(jié)省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對提高多晶硅品質(zhì)產(chǎn)生重要意義,取得了一定的經(jīng)濟效益和社會效益。
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